□ 本报记者 张 宣

在优化提升传统产业、培育壮大新兴产业、超前布局未来产业上开创新局面。

——摘自习近平总书记参加十四届全国人大四次会议江苏代表团审议时重要讲话

培育发展未来能源、量子科技、具身智能、脑机接口、6G等未来产业。

——摘自2026年国务院政府工作报告

不久前，第十四届中国创新创业大赛全国总决赛在沈阳落下帷幕，苏州元相微科技有限责任公司从近3.8万家报名企业中一路闯关，最终凭借自主研发的中国首台“超级表面电子显微镜”斩获初创组金奖。

这项内含量子科技的“金奖”设备，瞄准的是芯片制造领域的核心痛点——12英寸晶圆在线缺陷检测通量不足的难题。在芯片制造领域，良率是关乎产业生存的核心生命线，而要实现良率稳定提升，关键在于在微观乃至原子层面精准“捕捉”晶圆缺陷并及时管控。传统扫描电子显微镜因此成为制约高端芯片产业发展的瓶颈。

瞄准这一行业痛点，元相微走出一条颠覆性创新之路。“我们研发的超级表面电子显微镜实现设计、制造到组装、调试全产业链自主可控，破解了芯片制造领域的检测难题。”元相微董事长兼总经理唐文新说，公司创业的初心，就是充分利用基础量子物理，打开观测微观世界的眼睛。“我们的超级表面电镜，不是聚焦于单个纳米尺度，而是以大视野的平行相干电子束直接探测晶圆缺陷，未来甚至可以达到亚毫米级视野，能根据用户需求实现在线检测并发现原子层级的缺陷。”唐文新介绍，得益于这种技术跨越，超级表面电镜的缺陷检测速度比目前国际上最好的扫描电镜快百倍，从根本上突破了电子束检测通量的行业瓶颈，为国产芯片提升良率提供了关键支撑。

“‘元’象征万物本源，代表根本的生长动力；‘微’直指我们的电子显微镜；‘相’既是微观图像，更是量子波动的核心物理特征——相位。”唐文新这样解释公司名称暗藏的深意。作为拥有27年表面科学与尖端电子显微镜研发经验的行业专家，他带领团队将量子物理与工业检测结合，实现从基础科学到尖端工业应用的转化。“这不仅仅是技术迭代，更打开了一扇新的工业检测大门，真正用量子物理解决芯片缺陷检测的关键问题。”

前沿技术的落地离不开良好的科创生态支撑。“对于创业团队来说，如果失去‘方向盘’，就失去了创业最根本的动力和意义。”唐文新说。元相微是江苏产研院/长三角国创中心“拨投结合”模式支持的重大项目公司之一。该模式在保障团队绝对主导权的基础上，为引领性、原创性创新项目提供早期研发资金支持，有效解决了前沿技术研发周期长、风险高、市场融资失灵的“死亡之谷”难题。项目落地苏州后，相城区和长三角先进材料研究院还提供了资金、检测加工设备、超净间场地及专人项目服务，为技术转化保驾护航。

得益于完善的支撑体系，元相微自2024年7月成立以来发展迅速，不到两个月便斩获高通—红杉创业大赛冠军，很快推出面向量子科研应用的超级显微镜整机产品并获得订单。通过与半导体检测产业方股权合作，公司获得价值约9000万元的12英寸及8英寸晶圆检测修复工业机台使用权，与纳瑞科技的紧密合作则加速了产品技术迭代，以低成本、高效率完成了从“实验室样机”到“工业级产品”的跨越。目前，团队正积极对接市场，打通上下游产业链，形成精细化的自驱创新网络。

“这份国家级冠军荣誉，是对团队长期深耕的肯定，更激励我们坚守初心。”唐文新表示，元相微将牢记习近平总书记关于“超前布局未来产业上开创新局面”的殷殷嘱托，持续深化技术创新，不断迭代升级超级表面电子显微镜的性能与应用场景，进一步拓展量子物理技术在半导体检测、材料科学研究等领域的深度应用，全力攻克更多“卡脖子”技术难题，将前沿科学转化为坚实可靠的国产高端科学仪器，助力国家在半导体与材料科学领域实现自主突破。

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让前沿科技扎根产业沃土

从实验室的量子物理原理，到工厂里的芯片检测设备，元相微的成功突围，离不开团队对基础科学的执着深耕，更得益于江苏为前沿科技量身打造的良好生态。江苏产研院/长三角国创中心“拨投结合”模式破解了资金难题，地方政府与科研院所的精准服务打通了转化堵点，产业端的深度合作加速了技术迭代，这种“基础研究、技术攻关、成果产业化、科技金融、人才支撑”的全链条布局，让量子科技这样的前沿领域得以跨越“死亡之谷”，真正服务于产业发展。

2026年政府工作报告明确提出培育发展量子科技等未来产业，这需要更多像元相微这样的创新主体，立足国家需求、瞄准产业痛点，在基础科学领域向工业领域勇闯“无人区”；也需要持续完善科创生态，让政策支持更精准、资源配置更高效、产学研结合更紧密。站在“十五五”新起点，相信随着规划推进，江苏将涌现出更多前沿科技转化的成功案例，让未来产业不断壮大，让国产高端装备在更多关键领域实现自主可控，为“强富美高”新江苏现代化建设筑牢产业根基。